别误会!DUV并未被荷兰全面禁止出售,而是早就摆脱了美国的主导监管

发布日期:2025-11-23 点击次数:156

别误会!DUV并未被荷兰全面禁止出售,而是早就摆脱了美国的主导监管

半导体行业这阵子又炸开锅,消息说荷兰把DUV浸没式光刻机归到出口许可里,其实关键不在“彻底关门”,而是审批权收回到了自己手上。以前谁都知道,这块技术一直让人盯得紧,尤其ASML家那几款高端型号,比如NXT:1980i、2000i,分辨率能做到大约38纳米,多曝光还能再往下压。要说世界最先进的工艺速度,这设备就是门槛。

时间线拉起来看,从2023年开始,美国带头搞限制,还拉着盟友一起加码。三月份的时候,荷兰方面话也放出来,要加强管控,然后6月30日正式执行。这之后,不管你想买哪个型号,只要是ASML家的新一代系统,比如NXT:2000i及以后,都得过荷兰审批这一关。

九月初又有变化——9月1日起连2000i和更后面的DUV系统出口都要跑流程了。不过ASML自己觉得短期影响还算可控,没有出现什么断崖式跌停。但10月17日美国再次出招,把部分DUV也纳入自家规则圈里,包括那些含美方技术的型号:1970i、1980i直接卡住,上了实体清单,中国晶圆厂碰一下就被卡脖子。所以2023年第四季度,对华订单确实受挫,一些老客户只能干瞪眼。

转到2024年元旦那波操作,荷兰直接撤销已批准给中国出货的2050i和2100i(原定于23年底交付)。不过ASML表态订单其实不多,但中国客户急着补货还是挺明显。数据摆在那里:第一季度,中国占ASML收入比重39%;第二季度涨到49%。此时1980i成了逻辑和存储生产线上的“顶梁柱”。

真正的大拐点落在2024年9月6号。当晚通知刚发出去,说从7号起连1970i、1980i这些老机型,也必须走通用许可程序。乍一看像是在扩大范围,其实细品下来,是把之前属于美国商务部审核权限移交给了荷兰经济事务部。从流程上讲,就是简化了一步,两国不用来回折腾申请材料。据官方口径,这是为了加强国家控制力,同时让企业办事效率提升,并不是增加新的禁令。而且市场小幅震荡后很快稳定,多数机构判断利好本地企业利益考虑为主。

事实证明这一系列调整没让中方完全失去采购渠道。在第三季度,各路消息显示中国依然拿到了不少台1980i,新项目没有因为政策变动戛然而止。

来到2025年1月15日,又有一个节点:自当年的4月1日起,“先进半导体制造设备”将进一步收紧出口要求,被点名影响的不只ASML,还有其他厂商如ASMI。但所有决定权依旧掌握在荷兰政府手里,并非传言中的“一刀切”。这一动作延续去年秋天以来的风格,说白了就是朝“战略自主”方向靠近,不愿轻易丢掉自己的核心话语权。

值得注意的是,在这个过程中,有业内人士直言:中国晶圆厂已经可以用DUV多重曝光做出7纳米甚至更小节点;SMIC等企业通过复杂patterning方式死抠良率与产能,每条生产线都是在极限操作。“买不到EUV,就把DUV玩到底”,这种拼劲儿估计很多同行都佩服。如果真按理性来看,这也是一种独特路径选择——既然工具有限,那就最大化利用现有资源呗。

整套组合拳打下来,看似层层加码,本质却是“把权力抓回来,把路留住”。安全跟商业两手兼顾,以后审查全由荷兰负责,公司业务排程更稳妥,再遇突发情况也少些慌乱。不仅如此,中国区营收对公司整体贡献仍旧突出——全年份额达到29%,即便预计明年降至20%,依旧保持重要地位。有知情人透露,高层对于300亿到350亿欧元销售目标充满信心,对华合作不会轻易搁置。同时新政府反复强调:“安全优先,但不能牺牲经济基础。”

供应链梳理一下,从最早针对2000i以及更新机型设立许可,到后来连1970/1980系列都统一进审批体系,中间减少跨国扯皮环节,对于工程师来说工作压力反倒减轻不少。一边应对合规流程,一边继续撑产能,让整个市场维持相对平稳状态。当然偶尔会有波动,不过没有哪一次是真正意义上的封杀或者断供。

今年1月份还有个新花样:双重用途产品的数据不公开了,据称这是为了保护商业秘密。这种披露策略微调主要作用于舆论场面,不太影响实际批文流转。有现场工程师表示,现在KPI就是机器不停、人不断,加之采购环节直面对接单一窗口,比过去方便太多。不少业内担心以后是不是可能突然变脸效仿美国,可目前看来至少还坚持精准控制、不逼龙头走绝路,“如果真的断供,两边都会吃亏。”

整体来看,把权限收回来降低许多不确定性,大多数企业照章办事安排产能计划,该怎么排服务怎么排交付都有据可循。对于国内买家而言,无论是哪种旧型号,只要走合规框架、多重曝光撑住生产需求,总归还是找得到办法继续前行。当然啦,多patterning终究存在成本和周期瓶颈,好坏之间博弈激烈,可这才叫产业里的真实生活吧。不喊口号、不耍狠话,用精细逻辑守好自己的关键位置,为未来留足余地,也是当前欧洲模式的一种写照。在各种外部压力下,自保、自强成为共识,有风险但总还有机会去争取下一步空间。

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